下载一种将晶圆从切割胶带上取下的装置及方法的技术资料

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本发明公开了一种将晶圆从切割胶带上取下的装置及方法,本发明涉及芯片制造技术领域。包括机体,真空罩,所述真空罩安装在机体的顶部;控制器,所述控制器安装在机体的外部;固定架,所述固定架安装在机体的顶部;进料机构,所述进料机构设置在机体的上方,所...
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