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本发明提供了一种钝化膜层结构及其制备方法和在制备太阳能电池中的应用,涉及太阳能电池的技术领域,所述钝化膜层结构包括:在硅基体背面依次层叠设置的隧穿氧化层、氧化铝层、多晶硅层和掺杂多晶硅层。本发明通过在传统隧穿氧化层与掺杂多晶硅层之间引入氧化...该专利属于TCL中环新能源科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过TCL中环新能源科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种钝化膜层结构及其制备方法和在制备太阳能电池中的应用,涉及太阳能电池的技术领域,所述钝化膜层结构包括:在硅基体背面依次层叠设置的隧穿氧化层、氧化铝层、多晶硅层和掺杂多晶硅层。本发明通过在传统隧穿氧化层与掺杂多晶硅层之间引入氧化...