下载一种提篮机械臂挂钩及硅片转运系统的技术资料

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本技术公开了一种提篮机械臂挂钩及硅片转运系统,其至少包括但不限于握持部、连接部和挂接部;连接部设置在握持部和挂接部之间,连接部上设置有与机械臂可拆卸连接的配合部;连接部与挂接部之间设置有导向斜面;挂接部整体为细长的圆台结构;本方案通过握持部...
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