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本技术提出一种蒸发镀膜机的修正板调节升降装置,包括工艺腔室,工艺腔室的内部的顶部中心位置设有镀锅,修正板调节结构包括驱动机构和驱动杆,当需要进行镀膜修正时,驱动机构驱动修正板向上转动至与镀锅的伞状结构的相切位置平行,使得所述修正板更加与所述...该专利属于苏州佑伦真空设备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州佑伦真空设备科技有限公司授权不得商用。
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本技术提出一种蒸发镀膜机的修正板调节升降装置,包括工艺腔室,工艺腔室的内部的顶部中心位置设有镀锅,修正板调节结构包括驱动机构和驱动杆,当需要进行镀膜修正时,驱动机构驱动修正板向上转动至与镀锅的伞状结构的相切位置平行,使得所述修正板更加与所述...