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本发明公开了一种无针式晶圆黏膜分离装置，涉及晶圆加工技术领域，本发明通过将气孔环绕开设在帽盖顶部边缘位置，通过气流高速流动对蓝膜底部进行连接，而后将相互套接的第一顶出块、第二顶出块、第三顶出块、第四顶出块和第五顶出块滑动插接在帽盖顶部中心位...
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