一种无针式晶圆黏膜分离装置制造方法及图纸

【技术保护点】

1.一种无针式晶圆黏膜分离装置，包括顶出机构，以及用于控制顶出机构移动的XYZ调节机构，其特征在于：所述顶出机构包括帽盖（1），且帽盖（1）内中心位置活动插设有竖直设置的第一顶出块（101），所述第一顶出块（101）外滑动套设有第二顶出块（102），且第二顶出块（102）外滑动套设有第三顶出块（103），所述第三顶出块（103）外滑动套设有第四顶出块（104），且第四顶出块（104）外滑动套设有第五顶出块（105），所述帽盖（1）的底部固定有用于对第一顶出块（101）、第二顶出块（102）、第三顶出块（103）、第四顶出块（104）和第五顶出块（105）弹性按压的簧片（106），所述帽盖...

【技术特征摘要】

1.一种无针式晶圆黏膜分离装置，包括顶出机构，以及用于控制顶出机构移动的xyz调节机构，其特征在于：所述顶出机构包括帽盖（1），且帽盖（1）内中心位置活动插设有竖直设置的第一顶出块（101），所述第一顶出块（101）外滑动套设有第二顶出块（102），且第二顶出块（102）外滑动套设有第三顶出块（103），所述第三顶出块（103）外滑动套设有第四顶出块（104），且第四顶出块（104）外滑动套设有第五顶出块（105），所述帽盖（1）的底部固定有用于对第一顶出块（101）、第二顶出块（102）、第三顶出块（103）、第四顶出块（104）和第五顶出块（105）弹性按压的簧片（106），所述帽盖（1）的顶部开设有环绕分布在第五顶出块（105）外侧的气孔（107），所述帽盖（1）的底部固定有与众多气孔（107）连通的帽身（108），所述帽身（108）内安装有用于控制第一顶出块（101）、第二顶出块（102）、第三顶出块（103）、第四顶出块（104）和第五顶出块（105）升降的微控机构，所述xyz调节机构上还装载有对应设置在顶出机构正上方的吸嘴（5）。

2.根据权利要求1所述的一种无针式晶圆黏膜分离装置，其特征在于：所述第一顶出块（101）、第二顶出块（102）、第三顶出块（103）、第四顶出块（104）和第五顶出块（105）的顶端均设置为方柱形结构。

3.根据权利要求1所述的一种无针式晶圆黏膜分离装置，其特征在于：所述帽盖（1）、第一顶出块（101）、第二顶出块（102）、第三顶出块（103）、第四顶出块（104）和第五顶出块（105）的顶部设置有众多横纵连通的凹槽，且凹槽与众多气孔（107）连通。

4.根据权利要求1所述的一种无针式晶圆黏膜分离装置，其特征在于：所述第一顶出块（101）、第二顶出块（102）、第三顶出块（103）、第四顶出块（104）和第五顶出块（105）底部并排设置，且均固定有凸块，所述凸块的两端设置为倾斜形结构，所述微控机构包括固定安装在帽身（108）内的导轨（2），且导轨（2）与众多凸块平行设置，所述导轨（2）上滑动套设有滑架（201），且滑架（201）的顶端安装有抵接在第一顶出块（101）、第二顶出块（102）、第三顶出块（103）、第四顶出块（104）和第五顶出块（105）底部的按压辊（202），所述帽身（108）内安装有用于控制滑架（201）沿导轨（2）往复滑动的驱动机构。

5.根据权利要求4所述的一种无针式晶圆黏膜分离装置，其特征在于：所述第一顶出块（101）、第二顶出块（102）、第三顶出块（103）、第四顶出块（104）和第五顶出块（105）底部的凸块的一端齐平，所述第一顶出块（101）、第二顶出块（102）、第三顶出块（103）、第四顶出块（104）和第五顶出块（105）底部凸块的长度比设置为5：4：3：2：1，...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁春俭，胡海龙，李俊锋，陈俊，刘香，
申请(专利权)人：上海爵企电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：