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本发明涉及一种晶圆表面检测的夹持装置系统及其检测方法，多组夹持装置呈环形设置于工作台周围，用于夹持外部送入的晶圆，夹持装置包括：伸缩步进电机、设置于伸缩步进电机侧边的基座、与伸缩步进电机的驱动端连接的推拉杆以及设于推拉杆前端的夹爪，推拉杆沿...
该专利属于浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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