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本发明公开的一种半导体晶圆缺陷的光学自动检测装置，包括上料输送组件与下料输送组件；上料料仓组件一侧设置有上料搬运组件，上料搬运组件将待检测产品抓取放至上料输送组件；检测组件包括第一检测相机与第二检测相机，检测组件一侧设置有翻转移载组件，翻转...
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