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本发明提供了一种晶圆载台和晶圆移载装置，属于半导体驱动技术，晶圆载台包括载台座、支撑模组、升降调平模组、旋转驱动模组、重力平衡模组和晶圆载盘；支撑模组通过升降调平模组和重力平衡模组设置在载台座上，旋转驱动模组设置在支撑模组的中部并带动支撑模...
该专利属于苏州矽行半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽行半导体技术有限公司授权不得商用。

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