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本发明公开了一种刻蚀终点的图像检测方法，用于刻蚀终点检测，所述图像检测方法包括接收晶圆的输出图像；对所述输出图像的每个像素点进行检测，建立联合掩膜M(x,y)；根据联合掩膜M(x,y)建立检测区域，得到多个待检测终点图像；建立灰度值和时间的...
该专利属于上海车仪田科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海车仪田科技有限公司授权不得商用。

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