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本申请提供了一种金属掩膜版的应力释放方法及系统。在切割工序开始之前，对待释放应力产品进行一定程度的张力释放，最大程度的避免了在切割动作完成时刻张力瞬间释放导致产品向中间回弹形成拱桥状回弹现象。本申请计算了待释放应力产品的回复形变量，并控制所...
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