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本申请属于太阳能电池领域。提供一种钝化结构、制备太阳能电池的磷掺杂层的方法、太阳能电池及其制备方法。该钝化结构包括：依次层叠设置的磷轻掺杂多晶硅层、本征多晶硅层、中间氧化硅层和磷重掺杂多晶硅层。本申请实施例的钝化结构在退火后，可以使磷重新分...
该专利属于天合光能（东台）光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天合光能（东台）光电有限公司授权不得商用。

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