【技术实现步骤摘要】
本申请涉及太阳能电池，尤其涉及一种钝化结构、制备太阳能电池的磷掺杂层的方法、太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
1、topcon电池以其隧穿氧钝化结构为特征，表现出较好的钝化性能。当前，多种多晶硅（poly）新结构被提出，例如“轻重梯度掺杂poly”、“双隧穿poly”及“本征poly”等。以上各种poly结构都旨在调控poly内部磷掺杂分布及解决内扩严重的问题，最终实现钝化质量的提高。可见，topcon电池poly中的磷掺杂分布调控是影响电池的钝化性能关键。然而，如何调控磷掺杂层内磷的分布，改善电池的钝化质量显得尤为重要。
2、需要说明的是，上述内容并不必然是现有技术，也不用于限制本申请的专利保护范围。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种钝化结构、制备太阳能电池的磷掺杂层的方法、太阳能电池及其制备方法，以解决或缓解上面提出的如何调控磷掺杂层内磷的分布的技术问题。
2、本申请实施例第一方面提供一种钝化结构，该钝化结构包括：依次层叠设置的磷轻掺杂多晶硅层、本征多晶...
【技术保护点】
1.一种钝化结构，其特征在于，包括：依次层叠设置的磷轻掺杂多晶硅层、本征多晶硅层、中间氧化硅层和磷重掺杂多晶硅层。
2.根据权利要求1所述的钝化结构，其特征在于，所述磷轻掺杂多晶硅层中磷的浓度为1×e20cm-3~7×e20cm-3；
3.根据权利要求1所述的钝化结构，其特征在于，所述钝化结构满足以下条件中的至少之一：
4.一种制备太阳能电池的磷掺杂层的方法，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述形成磷轻掺杂多晶硅层的条件满足以下之一：
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，形成所述...
【技术特征摘要】
1.一种钝化结构，其特征在于，包括：依次层叠设置的磷轻掺杂多晶硅层、本征多晶硅层、中间氧化硅层和磷重掺杂多晶硅层。
2.根据权利要求1所述的钝化结构，其特征在于，所述磷轻掺杂多晶硅层中磷的浓度为1×e20cm-3~7×e20cm-3；
3.根据权利要求1所述的钝化结构，其特征在于，所述钝化结构满足以下条件中的至少之一：
4.一种制备太阳能电池的磷掺杂层的方法，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述形成磷轻掺杂多晶硅层的条件满足以下之一：
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，形成所述本征多晶硅层的条件满足以下之一...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾德华，卞强，邹杨，何早阳，
申请(专利权)人：天合光能东台光电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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