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本申请提供一种体声波谐振器、滤波器及其制作方法，体声波谐振器包括具有第一谐振腔的体声波谐振器载体、第一电极层、压电层、第二电极层，以及具有第二谐振腔和散热层的体声波谐振器盖体；散热层具有至少一个凸起；第二电极层覆盖压电层的第一表面的第一区域...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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