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本发明公开了一种空腔型体声波谐振器及其制备方法，涉及半导体射频器件领域。其中，制备方法包括以下步骤：(1)在临时衬底上形成压电层；(2)形成下电极层并图形化；(3)形成填充层并图形化，图形化后的下电极层的投影覆盖图形化后的填充层；(4)形成...
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