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一种元件深紫外激光损伤阈值测试装置及方法，装置包括第一激光模块，被设置为发出深紫外激光；第二激光模块，被设置为发出与第一激光模块的光斑尺寸相同的超短脉冲激光；合束模块，被设置为使第一激光模块和第二激光模块发出的激光共轴，并将调制后的激光发射...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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