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本技术涉及半导体基板生产技术领域，尤其涉及一种半导体基板自动上料装置。包括有机箱，机箱的顶部设置有用于基板的运输的输送机，在机箱的一侧设置有用于基板进料的进料箱，输送机的一端连接在进料箱上，且在机箱的后侧设置有用于基板的转送出料的转运箱，转...
该专利属于广州青蓝时代半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州青蓝时代半导体有限公司授权不得商用。

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