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基板处理装置(100)包含喷嘴(3)、基板保持部(2)、液承接部(11)、排液机构(6)、及喷嘴移动部(5)。喷嘴(3)选择性地喷出包含酸性药液、碱性药液、及冲洗液的复数种处理液。基板保持部(2)保持基板(W)。液承接部(11)配置于基板保...
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