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本技术涉及一种快速测量晶圆粗糙度的装置。本技术包括底座、托盘、光源和CCD图像传感器，所述托盘安装于底座上，所述光源安装于托盘上，所述CCD图像传感器位于托盘中心上方，所述光源由外壳、半导体激光器和柱透镜组成，所述半导体激光器与柱透镜相连接...
该专利属于南京南智先进光电集成技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京南智先进光电集成技术研究院有限公司授权不得商用。

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