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本发明涉及碳化硅晶体加工技术领域，更具体的公开了一种碳化硅晶体生长设备，包括定位底座，所述定位底座的顶部固定连接有加热炉体，所述加热炉体的顶部安装有顶部密封盖，所述定位底座的顶部安装有石墨坩埚组件；本发明将需要进加工的碳化硅原料放入到坩埚主...
该专利属于江苏兑尚半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏兑尚半导体科技有限公司授权不得商用。

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