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本发明属于晶圆切割技术领域,公开了一种晶圆的激光切割方法,包括以下步骤:在晶圆的正面依次涂覆保护胶和保护液,得到晶圆A;将晶圆A的背面贴在UV膜上,然后进行激光切割,得到晶圆B;对晶圆B进行第一水流冲洗,得到晶圆C;对晶圆C进行扩摸,得到晶...该专利属于广东鑫诚光电半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东鑫诚光电半导体有限公司授权不得商用。
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本发明属于晶圆切割技术领域,公开了一种晶圆的激光切割方法,包括以下步骤:在晶圆的正面依次涂覆保护胶和保护液,得到晶圆A;将晶圆A的背面贴在UV膜上,然后进行激光切割,得到晶圆B;对晶圆B进行第一水流冲洗,得到晶圆C;对晶圆C进行扩摸,得到晶...