下载一种高延展性的DLC膜的制备方法的技术资料

文档序号:46518432

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本发明公开了一种高延展性的DLC膜的制备方法,包括:在真空环境下,制备原始DLC膜;将二硼烷气体注入原始DLC膜的表面,并维持预设时间;在预设温度下,使原始DLC膜的表面上的二硼烷发生反应,以在原始DLC膜的表面上形成硼掺杂DLC膜层,获得...
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