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本申请实施例提供一种抛光垫和抛光系统，涉及抛光领域，抛光垫包括：研磨层用于与晶圆接触，研磨层、上导电胶层、导电布层、下导电胶层和导电离型纸层沿重力方向依次堆叠连接，导电离型纸层还与机台连接。导电布层用于增强上导电胶层和下导电胶层之间的导电性...
该专利属于衢州博来派得电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过衢州博来派得电子材料有限公司授权不得商用。

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