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本公开涉及一种用于沉积透明导电膜的镀膜系统和方法，该系统包括：真空进样装置、微波发生器、真空镀膜腔室和水蒸气发生组件；微波发生器设置于真空进样装置的腔体内，以用于除去真空进样装置腔体内的待镀膜样品表面的水；水蒸气发生组件包括水蒸气发生腔和第...
该专利属于国家能源投资集团有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过国家能源投资集团有限责任公司授权不得商用。

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