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本发明公开了一种MEMS传感器，涉及MEMS传感器结构技术领域，其中，所述MEMS传感器包括层叠设置的背极板、第一支撑层以及振膜，所述第一支撑层中部开口设置，以与所述背极板以及所述振膜围合形成一空腔，所述背极板上对应于所述空腔的位置开设有多...
该专利属于歌尔微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔微电子股份有限公司授权不得商用。

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