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本发明提供一种直接描绘装置及直接描绘方法，即使在光学调制元件存在不良情况的情况下也继续曝光。直接描绘装置包括：光学调制元件，具有与副扫描方向对应地排列的多个元件，并且用于调制光源的光；以及曝光头，用于利用由光学调制元件调制后的光对基板进行曝...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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