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本发明公开了一种半导体长晶缺陷识别智能分选方法,涉及视觉识别技术领域,解决当前晶圆检测对缺陷类型识别不准确的问题,方法为:依据历史缺陷数据对晶圆的缺陷图像进行标准化,标准化得到晶圆的标准缺陷图像,基于标准缺陷图像检测得到晶圆的缺陷区域;对晶...该专利属于涌淳半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过涌淳半导体(无锡)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种半导体长晶缺陷识别智能分选方法,涉及视觉识别技术领域,解决当前晶圆检测对缺陷类型识别不准确的问题,方法为:依据历史缺陷数据对晶圆的缺陷图像进行标准化,标准化得到晶圆的标准缺陷图像,基于标准缺陷图像检测得到晶圆的缺陷区域;对晶...