下载粒子包覆装置以及粒子包覆方法的技术资料

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提供能够高效地制造以均匀的膜厚包覆了绝缘膜的带绝缘膜的粒子的粒子包覆装置以及粒子包覆方法。粒子包覆装置(1)具备:容积为10L~100L的腔室(11);设置于腔室(11)并能够向腔室(11)内导入规定的气体的气体导入部(16);设置于腔室(...
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