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本公开实施例公开了一种气体喷淋头及气相处理装置，所述气体喷淋头包括：第一充气室；包括进气口；进气口被配置为输入第一气体；第二充气室，与第一充气室连通；第一管道，位于第二充气室中，第一管道被配置为输入第二气体；第一管道在第一平面上连续的螺旋延...
该专利属于深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司授权不得商用。

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