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本申请提供了抛光装置。抛光装置包括抛光盘、偏移调节组件、压力调节组件。偏移调节组件设于抛光盘的一侧，偏移调节组件包括连接抛光盘的第一悬浮磁性部；其中，通过调节第一悬浮磁性部的磁力，从而调节抛光盘的倾斜角，倾斜角为抛光盘与水平面之间的夹角。压...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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