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波长可变干涉滤波器制造技术
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下载波长可变干涉滤波器的技术资料
文档序号:46487201
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本发明提供一种使可分光带域广域化并且将可分光带域中的透射峰设为单峰的波长可变干涉滤波器。本实施方式的波长可变干涉滤波器具备:第一反射膜以及第二反射膜,其隔着间隙而对置;致动器部,其通过对间隙进行变更,从而对透射过第一反射膜以及第二反射膜的透...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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