波长可变干涉滤波器制造技术

本发明专利技术提供一种使可分光带域广域化并且将可分光带域中的透射峰设为单峰的波长可变干涉滤波器。本实施方式的波长可变干涉滤波器具备：第一反射膜以及第二反射膜，其隔着间隙而对置；致动器部，其通过对间隙进行变更，从而对透射过第一反射膜以及第二反射膜的透射光的峰值波长进行变更。第一反射膜以及第二反射膜分别为使高折射率层、和与高折射率层相比而折射率较低的低折射率层被交替地层叠了总计六层以上的多层膜。构成第一反射膜的各层的光学膜厚、和构成第二反射膜的各层的光学膜厚具有以间隙为中心而相互对称的配置。在出现峰值波长且具有700nm以上的宽度的设定波段中，第一反射膜以及第二反射膜的各多层膜中的反射相位的变化幅度为120度以内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种波长可变干涉滤波器。

技术介绍

1、一直以来，作为分光滤波器的一种而已知有使入射光中的预定波长的光透射过的波长可变干涉滤波器(例如参照专利文献1)。该波长可变干涉滤波器具备一对基板、被设置在一对基板上并且相互隔着间隙而对置的一对反射膜、和使该间隙变更的静电致动器。当通过静电致动器来使一对基板中的一方朝向另一方进行位移时，一对反射膜间的间隙尺寸会发生变化，从而与间隙尺寸相对应的特定波长的光会透射过波长可变干涉滤波器。

2、在上述那样的波长可变干涉滤波器中，作为一般的反射膜，利用了使高折射率层以及低折射率层被交替地层叠了的多层膜，构成该多层膜的各层的光学膜厚基于所期望的设计波长λd而被设计为λd/4。例如，图12为对构成反射膜f1、f2的各层的膜厚进行排列表示的图表。在图12中，“air”表示反射膜f1、f2间的间隙，“h”表示高折射率层，“l”表示低折射率层。

3、在具有反射膜f1、f2的波长可变干涉滤波器中，由于在设计波长λd中会出现透射率的峰(以下，记为透射峰)，因此通过对间隙进行变更，从而能够将以设计波长λd为本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种波长可变干涉滤波器，具备：

2.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

3.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

4.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

5.如权利要求4所述的波长可变干涉滤波器，其中，

6.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

7.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

8.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

9.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

【技术特征摘要】

1.一种波长可变干涉滤波器，具备：

2.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

3.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

4.如权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其中，

5.如权利要求4所述的波长可变干...

【专利技术属性】
技术研发人员：森田喜久哉，矢野邦彦，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：