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本发明提供了一种含氟树脂粉末以及包含其的光致抗蚀剂组合物。通过低温沉降、控制沉降温度和沉降剂添加比例、沉降步骤方法等得到粉末状的含氟树脂，具有残留单体含量低、溶剂残留量少、储存稳定性更好的优点，在浸没式ArF中，能够在顶层阻挡水对光致抗蚀剂...
该专利属于湖北鼎龙芯盛科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北鼎龙芯盛科技有限公司授权不得商用。

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