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本发明为一种晶圆减薄夹具，包括底座、若干个吸附模块和至少三个定位模块；吸附模块在底座圆周上呈对称分布，且在底座圆心处也设置有一个吸附模块；吸附模块包括气孔板和两根对称分布的弹簧；气孔板与底座间隙配合，弹簧设置为连接气孔板与底座；定位模块由丝...
该专利属于重庆邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过重庆邮电大学授权不得商用。

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