下载硼扩散吸杂方法及其在制备TOPCon电池中的应用和TOPCon电池的制备方法的技术资料

文档序号:46474020

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本发明提供了一种硼扩散吸杂方法及其在制备TOPCon电池中的应用和TOPCon电池的制备方法,涉及太阳能电池的技术领域,包括以下步骤:(A)在硅基体的两面依次叠层制备第一隧穿氧化层和本征硅层;(B)对步骤(A)得到的硅基体依次进行硼扩散和吸...
该专利属于环晟光伏(江苏)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过环晟光伏(江苏)有限公司授权不得商用。

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