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本发明提供一种超结外延填充方法，包括以下步骤：提供一衬底，所述在衬底形成第一导电类型的第一外延层，在所述第一外延层形成深槽，所述深槽的开口尺寸为W；在所述深槽中填充第二导电类型的第二外延层；第二外延层的填充步骤包括：S1：沉积气体初始流量D...
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