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本申请提供一种砂轮修整机构及晶圆研磨装置，涉及半导体技术领域，包括活动设置于砂轮下方的修砂板，修砂板具有远离砂轮的第一初始位置以及与砂轮接触的第一修砂位置，修砂板受驱于第一初始位置和第一修砂位置之间切换，修砂板用于在第一修砂位置对砂轮的表面...
该专利属于湖北星辰技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北星辰技术有限公司授权不得商用。

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