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本发明提供了一种芯片探针卡平面度调节机构及芯片测试设备，属于半导体设备技术领域。该芯片探针卡平面度调节机构包括至少三个非共线布置的可调支撑组件，每一可调支撑组件均包括固定设置的支撑壳体和位于支撑壳体内的高度调节组件；高度调节组件包括：驱动电...
该专利属于苏州联讯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州联讯仪器股份有限公司授权不得商用。

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