下载应用在晶圆加热基座中的盘管的技术资料

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本技术公开了应用在晶圆加热基座中的盘管,涉及半导体设备技术领域;包括一根加热管体盘绕而成的加热盘和引线管,在加热盘中内置有电阻丝,在引线管中内置有电阻丝导线;所述加热盘包括对称设置的第一弧形部、对称设置的第二弧形部和具有开口结构的环形部,所...
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