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本申请公开了一种基于LDI的投影成像光刻系统及曝光方法。系统包括激光器、DMD控制板、DMD、光学镜头、对准相机、处理器、吸盘、运动平台和大理石基座等关键组件。通过静态投影与动态微位移的结合，本系统能够有效平滑曝光边缘，提高图形解析度，同时...
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