下载一种稀土金属靶材及其制备方法的技术资料

文档序号:46460697

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本发明提供了一种稀土金属靶材及制备方法,以质量百分比计,该靶材包含以下元素:稀土金属70‑90%,过渡金属5‑15%,分散剂3‑10%;其余为不可避免的杂质,杂质中氧含量小于300ppm,铁含量小于100ppm。制备方法包括:提取、改性、还...
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