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本技术涉及镀膜技术领域，公开了一种电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统。其中，电子束蒸发镀膜装置包括：坩埚，包括坩埚本体和环形设于坩埚本体上的环形凹槽，环形凹槽内适于放置镀膜物料；电子束枪，用于对环形凹槽局部区域内的镀膜物料发射电子束；驱...
该专利属于极电光能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过极电光能有限公司授权不得商用。

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