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本申请公开一种多晶厚膜及其制备方法、X射线平板探测器及其制作方法，涉及半导体厚膜制备技术领域。多晶厚膜的制备方法包括制备种子层样品，并制备第一溶液；对第一溶液进行加热处理，以使第一溶液进行蒸发；在第一溶液进行蒸发的过程中，将种子层样品置于第...
该专利属于华中科技大学鄂州工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学鄂州工业技术研究院授权不得商用。

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