多晶厚膜及其制备方法、X射线平板探测器及其制作方法技术

本申请公开一种多晶厚膜及其制备方法、X射线平板探测器及其制作方法，涉及半导体厚膜制备技术领域。多晶厚膜的制备方法包括制备种子层样品，并制备第一溶液；对第一溶液进行加热处理，以使第一溶液进行蒸发；在第一溶液进行蒸发的过程中，将种子层样品置于第一溶液中，以使种子层样品上形成钙钛矿厚膜；在将钙钛矿厚膜置于苯甲醚溶剂中的情况下，对苯甲醚溶剂中的钙钛矿厚膜进行溶剂退火处理，以得到多晶厚膜。本申请提高了多晶厚膜的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体厚膜制备，尤其涉及一种多晶厚膜及其制备方法、x射线平板探测器及其制作方法。

技术介绍

1、目前，xx射线平板探测器在疾病诊断和介入手术中发挥着至关重要的作用，如早期癌症筛查和心导管插入术。随着x光检查频率的增加，个人暴露在更高的平均辐射剂量下，导致癌症和心血管疾病的发病率逐年增加。因此，x射线透视成像必须在低、可接受的辐射剂量下提供内部结构信息，以尽量减少辐射风险。近年来，基于有机金属卤化物钙钛矿半导体的直接x射线探测显示出比商用探测器更低剂量的x射线成像潜力，因为它具有高载流子迁移寿命积。研究人员使用了一系列技术来降低剂量，如提升钙钛矿器件的灵敏度等。然而，在低辐射剂量下，入射光子密度和光子非均匀性的降低导致量子噪声增大，导致低剂量下成像的信噪比不足，限制了成像质量的进一步提高。现有技术中钙钛矿多晶厚膜均匀性差导致x射线照射下的吸收能量分布(aed)，这加剧了x射线光子在探测器内部的不均匀沉积，引入了额外的量子噪声。随着入射光子数量的减少，这种噪声在低剂量下变得更加明显，降低了低剂量下的图像信噪比。因此，多晶厚膜的制备方法存在多晶厚膜均匀本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多晶厚膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述制备种子层样品，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述第三溶液，制备所述种子层样品，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述制备第一溶液，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述第一溶液进行加热处理，以使所述第一溶液进行蒸发，包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述种子层样品置于所述第一溶液中，以使所述种子层样品上形成钙钛矿厚膜，包括：

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【技术特征摘要】

1.一种多晶厚膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述制备种子层样品，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述第三溶液，制备所述种子层样品，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述制备第一溶液，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述第一溶液进行加热处理，以使所述第一溶液进行蒸发，包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述种子层样品置于所述第一溶液...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛广达，刘志强，逄锦聪，李晨兴，向伍晨，
申请(专利权)人：华中科技大学鄂州工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：