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本发明涉及晶圆制备技术领域，提出了一种晶圆夹持装置、输送系统及其应用方法，包括夹具模组、连接件和驱动机构，其中，夹具模组具有两个夹具端，两个夹具端通过保持架相连接；两个夹具端层叠设置，且两个夹具端朝向同一侧；连接件设置在保持架上，连接件用于...
该专利属于武汉百臻半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉百臻半导体科技有限公司授权不得商用。

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