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本发明涉及分离领域的一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统，通过设有脉冲爆破管以及液环式真空泵，对过滤罐内的除尘布袋进行除尘并对沉降氧化物粉尘进行负压抽吸，实现大批量过滤罐的自动化除尘，采用在线分阶段自动除尘的方式替代停机人工除尘方式，避免粉尘...
该专利属于无锡启发科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡启发科技发展有限公司授权不得商用。

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