一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统技术方案

本发明专利技术涉及分离领域的一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统，通过设有脉冲爆破管以及液环式真空泵，对过滤罐内的除尘布袋进行除尘并对沉降氧化物粉尘进行负压抽吸，实现大批量过滤罐的自动化除尘，采用在线分阶段自动除尘的方式替代停机人工除尘方式，避免粉尘的堆积且不需要中断拉晶生产过程，提高了生产效率；同时，通过除渣筒和收集池，实现了氧化物粉尘按粒度大小的分级沉降和吸附收集，降低粉尘损伤液环式真空泵的概率；另外，通过液环式真空泵作为负压动力源，使得氧化物粉尘融入吸附液中，降低氧化物粉尘在输送过程中的自燃和爆炸风险，也避免了粉尘氧化复燃问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种氧化物清理系统，特别是涉及应用于分离领域的一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统。

技术介绍

1、在单晶硅棒拉制生产过程中，为保证拉晶质量，会利用真空泵将炉体内的杂质与气体抽离，在使用真空泵时会配置过滤系统将粉尘及杂质过滤出来防止对真空泵造成损坏，过滤系统一般采用过滤罐进行除尘，随着运行时间的增加，过滤罐内容易堆积粉尘造成过滤效率下降，需要清理。

2、现有的过滤罐的巡检和清洁一般采用人工巡检和手动清洁的方式，在现实中一个光伏硅料生产区域，往往存在数千个过滤罐，人工巡检和手动清洁方式需要耗费巨大的劳动力，不适宜过滤罐规模化的清洁，且氧化物粉尘对工人健康和生产安全具有影响。

3、现有公开号为cn117919852b的专利公开了一种脉冲布袋除尘器，属于除尘设备
，包括箱体、外布袋支架、内布袋支架、布袋和抖动机构，箱体设有进气口和排气口，且中部设有喷吹管和安装板，下部设有集尘斗；外布袋支架设置在箱体内，且与安装板连接；布袋设在外布袋支架内，并与外布袋支架连接，且与安装板密封连接；内布袋支架设在布袋内，且与布袋内侧连接；抖本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统，其特征在于，包括多个过滤罐(6)；所述过滤罐(6)内固定连接有多个除尘布袋(9)，除尘布袋(9)固定连通有脉冲爆破管(10)，脉冲爆破管(10)连通有供气管(11)，供气管(11)与外部储气罐连通，外部储气罐内填充有非氧化性气体，脉冲爆破管(10)与供气管(11)连通处固定连接有第一电磁阀(21)；

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统，其特征在于，所述过滤罐(6)下部安装有反吹机构，反吹机构包括多根呈圆周等距分布的第一反吹管(12)，过滤罐(6)下部设有锥形部，第一反吹管(12)与锥形部的外侧壁固定连接且与锥形部...

【技术特征摘要】

1.一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统，其特征在于，包括多个过滤罐(6)；所述过滤罐(6)内固定连接有多个除尘布袋(9)，除尘布袋(9)固定连通有脉冲爆破管(10)，脉冲爆破管(10)连通有供气管(11)，供气管(11)与外部储气罐连通，外部储气罐内填充有非氧化性气体，脉冲爆破管(10)与供气管(11)连通处固定连接有第一电磁阀(21)；

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统，其特征在于，所述过滤罐(6)下部安装有反吹机构，反吹机构包括多根呈圆周等距分布的第一反吹管(12)，过滤罐(6)下部设有锥形部，第一反吹管(12)与锥形部的外侧壁固定连接且与锥形部内腔切向连通，第一反吹管(12)固定连通有供气支管(14)，供气支管(14)与供气管(11)固定连通且二者连通处固定连接有第三电磁阀(23)，第三电磁阀(23)与控制器电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统，其特征在于，所述过滤罐(6)位于排灰管(8)相对一侧的侧壁上固定连接有多个等距分布的第二反吹管(13)，第二反吹管(13)与排灰管(8)相对设置，第二反吹管(13)与供气支管(14)固定连通，排灰管(8)设置在过滤罐(6)锥形部的上方。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用氧化物自动清理系统，其特征在于，所述除尘布袋(9)下端固定连接有安装孔板，安装孔板与过滤罐(6)内壁固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员：张立，韩少华，孙科，谢丹，彭远东，陈宏磊，
申请(专利权)人：无锡启发科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：