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一种多弧离子镀的镀镍装置及方法制造方法及图纸
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下载一种多弧离子镀的镀镍装置及方法的技术资料
文档序号:46447247
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本发明属PVD电弧离子镀表面处理技术领域,具体涉及一种多弧离子镀的镀镍装置及方法,包括真空室、法兰结构、镍靶、磁场屏蔽罩、磁场调节机构和引弧针;法兰结构包括固定法兰和可拆卸法兰,所述固定法兰固定安装在真空室侧面,所述可拆卸法兰通过螺栓与固定...
该专利属于沈阳航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳航空航天大学授权不得商用。
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