下载一种多弧离子镀的镀镍装置及方法的技术资料

文档序号:46447247

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属PVD电弧离子镀表面处理技术领域,具体涉及一种多弧离子镀的镀镍装置及方法,包括真空室、法兰结构、镍靶、磁场屏蔽罩、磁场调节机构和引弧针;法兰结构包括固定法兰和可拆卸法兰,所述固定法兰固定安装在真空室侧面,所述可拆卸法兰通过螺栓与固定...
该专利属于沈阳航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳航空航天大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。