下载一种具有背面空穴注入的快速软恢复二极管及制备方法的技术资料

文档序号:46446670

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本申请属于功率半导体器件技术领域,具体公开了一种具有背面空穴注入的快速软恢复二极管及制备方法。本申请通过对p缓冲层、n缓冲层、p阴极区结构进行优化,p缓冲层与p+阳极区交替排列,由于p缓冲层掺杂明显低于PIN二极管的p+阳极掺杂,反向恢复过...
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