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本发明涉及反应釜吊装技术领域,尤其涉及一种用于吊装反应釜的吊装系统及机械手、方法,旨在解决反应釜常因构造不同使得重心偏离,导致起吊过程釜体晃动,稳定性不高的问题。包括平行滑轨、吊车和反应釜本体,吊车滑动连接在平行滑轨上,吊车可升降,还包括限...该专利属于国镓芯科(成都)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过国镓芯科(成都)半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及反应釜吊装技术领域,尤其涉及一种用于吊装反应釜的吊装系统及机械手、方法,旨在解决反应釜常因构造不同使得重心偏离,导致起吊过程釜体晃动,稳定性不高的问题。包括平行滑轨、吊车和反应釜本体,吊车滑动连接在平行滑轨上,吊车可升降,还包括限...